บนชั้นลิโทกราฟี โปรไฟล์ของโฟโตรีซิสต์จะถูกกำหนดก่อนการเปิดรับแสงจะเกิดขึ้น การลอยตัวเพียงครึ่งองศาระหว่างการอบแบบซอฟต์เบคหรือฮาร์ดเบคจะส่งผลต่องบประมาณความร้อน และการควบคุมมิติที่สำคัญของคุณจะผิดพลาด เราออกแบบโคมไฟอินฟาเรดที่ปราศจากโอโซนเพื่อหยุดการลอยตัวนั้นทันที โดยให้ความร้อนที่สามารถทำซ้ำได้อย่างแม่นยำในตำแหน่งที่กระบวนการต้องการ—ตรงที่แผ่นเวเฟอร์
สิ่งที่สำคัญในเชิงเทคนิค
เราใช้ตัวปล่อยอินฟาเรดคลื่นสั้นพร้อมออปติกควอตซ์ ทำให้การให้ความร้อนเป็นแบบเส้นตรงและการตอบสนองทางความร้อนต่ำกว่า 1 วินาที กำลังขาออกถูกปรับจูนให้เข้ากับการดูดซับของโฟโตรีซิสต์ ซึ่งหมายความว่าผิวแผ่นเวเฟอร์จะถึงจุดตั้งค่าได้อย่างรวดเร็ว ขณะที่ชัคยังคงเย็น
ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิในระดับแผ่นเวเฟอร์อยู่ในช่วง ±0.1°C ตลอดโซนอบ และความสามารถในการทำซ้ำอุณหภูมิอยู่ต่ำกว่า ±0.2°C ระหว่างชุดผลิต ระบบนี้ปราศจากโอโซน จึงไม่ต้องกังวลเกี่ยวกับการเกิดออกซิเดชันในห้องสะอาด และจำนวนอนุภาคยังคงต่ำ มันทำงานได้ตลอด 24/7 พร้อมกำลังขาออกที่เสถียร; หน่วยงานบางเครื่องสามารถทำงานเกิน 5,000 ชั่วโมงโดยมีการลดลงของความเข้มข้นต่ำกว่า 5%
เหตุผลที่มันเหมาะกับกระบวนการแปรรูปเวเฟอร์
ขั้นตอนการอบเป็นการตั้งค่าทุกอย่างที่ตามมา—การกัดกร่อนและการพัฒนา โคมไฟของเราช่วยลดเวลาการอบแบบซอฟต์และฮาร์ดโดยไม่เกิดการเกินเป้าหมาย ทำให้คุณบีบเวลาในรอบการผลิตโดยไม่เสียการควบคุมโปรไฟล์
ความเข้ากันได้กับห้องสะอาดระดับ Class 1–100 การไม่สร้างอนุภาค และอายุการใช้งานโคมไฟที่ยาวนานหมายถึงความไม่คาดคิดน้อยลงในโรงงาน: เวลาหยุดทำงานที่ไม่ได้วางแผนน้อยลงและอะไหล่น้อยลงที่ต้องสำรองในคลังพัสดุ การใช้พลังงานลดลงเช่นกัน—การตอบสนองทางความร้อนที่รวดเร็วและการควบคุมที่เข้มงวดช่วยป้องกันความร้อนส่วนเกินส่งผลกระทบต่อระบบ HVAC
สิ่งที่คุณต้องรู้
การติดตั้งจำเป็นต้องจัดแนวให้ตรงสายตากับระนาบของแผ่นเวเฟอร์และใช้แหล่งจ่ายไฟที่กรองเฉพาะเพื่อรักษาเสถียรภาพของสเปกตรัมให้อยู่ในระดับที่เหมาะสม ควรคาดหวังเวลาการอุ่นเครื่องสั้นจนถึงสมดุลทางความร้อน และสูตรการอบควรจัดตารางเวลาให้สอดคล้องกับช่วงเวลานั้น
โคมไฟใช้งานร่วมกับชัคแผ่นเวเฟอร์มาตรฐานส่วนใหญ่ได้ แต่ถ้าคุณต้องการรวมกับระบบแทร็คแบบเก่า อาจต้องใช้ขาแขวนแบบกำหนดเองและกระบวนการปรับเทียบ ควรวางแผนการทดสอบคุณสมบัติสั้น ๆ เพื่อยืนยันจุดตั้งค่าของชั้นโฟโตรีซิสต์ของคุณ