Kızılötesiyle MEMS Wafer’lerin Kurutulması: Neden Eski Fırınlardan Daha İyi?
Eğer modern ve akıllı bir üretim tesisleri kurmak istiyorsanız, eski tip konveksiyon fırınlarına güvenemezsiniz. Çünkü bunlar çok yavaştır. MEMS sensör wafer’lerini kurutmak için kısa dalga boylu kızılötesi sistemler kullanıyoruz. Burada önemli olan hız ve tepki süresidir; çünkü üretim hatları dijitalleştiğinde hızlı hareket etmek gerekiyor.
Kızılötesinin Neden Etkili Olduğu
Kızılötesinin avantajı, wafer’in etrafındaki havayı ısıtmak için zaman kaybetmemesidir. Isı doğrudan wafer’in yüzeyine ulaşır. Bu da diğer ekipmanların aşırı ısınmasını engeller. Ayrıca, gücü tam olarak kontrol edebildiğiniz için bunu doğrudan PLC’ye bağlayabilirsiniz. Wafer’in kalınlığı değişirse veya üretim hızını artırmak isterseniz, gücü anlık olarak ayarlayabilirsiniz. Böylece büyük bir hava tankının ısınmasını beklemek zorunda kalmazsınız.
Donanım Hakkında Detaylar
Bu ısıtıcıları, temiz oda koşullarına uygun şekilde tasarlıyoruz. Yüksek saflıkta kuvars malzemeler kullanıyoruz ki sensörlerinizin kirlenmesinden endişelenmenize gerek olmasın. Ayrıca yüksek güç yoğunluğu sağlamaya çalışıyoruz; bu da “kurutma işleminin mümkün olan en kısa sürede tamamlanması” anlamına gelir.
Dikkat Edilmesi Gerekenler
Ancak bir uyarı: Güç kaynağına dikkat edin. Eğer voltaj lambaların gerektirdiği seviyede değilse, lambalar çok erken yanacaktır. Ayrıca bu lambalar son derece sıcak olur; sadece wafer üzerinde değil, lambaların uçlarında da. Isıya dayanıklı konektörler ve kablolar kullanmalısınız; aksi takdirde terminalleriniz sürekli yük altında eriyebilir. Bu da pek hoş bir durum değildir.
Avantajlar ve Dezavantajlar
Kızılötesi yöntemi oldukça hızlıdır; sıcak hava yöntemine göre %60 daha hızlıdır. Ancak bir dezavantajı vardır: Yöneldiği yöne bağlıdır. Eğer wafer rafı hafifçe merkezden saparsa, soğuk noktalar oluşur. Isının wafer’in her yerine eşit şekilde ulaşmasını sağlamak için reflektör geometrisine dikkat etmelisiniz. Ayrıca bu sistemler oldukça yüksek performanslı olduğundan, düzenli bakım gerektirir. Kuvars tüplerin her türlü kir veya gazdan arındırılması gerekmektedir. Ancak hız için bu küçük bir bedeldir.