Waflarınızı Beklemeyi Bırakın: Neden İnfrakırmızı Isıtma Daha İyi?
Derin işleme için uygun bir wafer işleme cihazı seçerken, aslında enerjiyi nasıl ileteceğinize karar veriyorsunuz.
Çoğu kişi başlangıçta basınçlı sıcak hava yöntemini tercih eder. Bu standart bir yöntemdir. Ancak sorun şu ki, hava sadece bir aracıdır. Havayı ısıttıktan sonra, umarız bu hava waferi de ısıtır… Ama bu süreç oldukça yavaştır.
İnfrakırmızı ısıtma ise bu aracı ortadan kaldırır. Enerji doğrudan waferin üzerine gönderilir. Bekleme olmaz; gereksiz işlemler de olmaz.
Beklemenin gerçek maliyeti
Eğer konveksiyon yöntemi kullanmışsanız, o can sıkıcı termal gecikmeyi biliyorsunuzdur. Hava ısıyı pek iyi tutamaz ve wafer yüzeyindeki ince hava tabakası bir tür koruyucu görevi görerek her şeyi yavaşlatır.
Bir wafer için kaybedilen birkaç saniye veya dakika önemsiz gibi görünebilir. Ama yüksek üretim kapasitesine sahip bir tesisde bu durum tam bir kabus olur.
İnfrakırmızı lambalar sayesinde hedefe neredeyse anında ulaşılır. Süreler dakikalardan milisaniyelere düşer. Burada söz konusu olan belirsiz bir “verimlilik” ölçütü değil; her saat daha fazla wafer üretebilmektir. Çünkü bekleme süreleri olmadığı için işlemler hızlanır.
Alan tasarrufu
Ayrıca, infrakırmızı ısıtma sayesinde alan tasarrufu sağlanır. Büyük fanlar ve sıcak havayı hareket ettirmek için gereken karmaşık sistemlerden kurtulabilirsiniz.
Ve işin en güzel yanı şu: İnfrakırmızı ısıtma sayesinde bölgesel ısıtma yapılabilir. Eğer waferin belirli bir bölgesi soğuksa, sadece o bölgeye odaklanarak sıcaklığı düzeltebilirsiniz. Bu çok daha hassas bir yöntemdir.
Tek dezavantaj
Ancak infrakırmızı ısıtma bir sihirli çözüm değildir. Çok hızlı olduğu için, eğer PID döngüsü doğru şekilde ayarlanmazsa sıcaklık kontrolü zorlaşabilir.
Sadece “ayarlayıp unutmak” mümkün değildir. Hızlı sensörler ve güç kontrol cihazları gereklidir; böylece hedef sıcaklığa ulaşıldığında ısı hemen kesilebilir.
Ayrıca soğutma sistemine de dikkat etmelisiniz. Eğer sistem lambadan çıkan ısıyı atamazsa, temel sıcaklık değerleri değişmeye başlar. Lütfen doğru termal koruma malzemeleri kullanın; aksi takdirde kendi elektronik cihazlarınızı zarar verebilirsiniz.