Як підтримувати чистоту у приміщенні класу 100
У світі виробництва половинчастих провідників навіть одна крапелька пилу – щось, що неможливо навіть побачити – може зіпсувати цілу партію пластин. Це справжній кошмар. Тож, коли потрібно нагріти приміщення класу 100, не можна просто використовувати звичайний нагрівальний елемент. Адже такі елементи виділяють гази та частинки, які можуть забруднити повітря.
Саме тому ми використовуємо інфрачервоні лампи з кварцу високої чистоти.
Чому важливий кварц
Для цих ламп ми використовуємо синтетичний склопідобний матеріал. Якщо використовувати дешевше боросилікатне скло, то виникне проблема з витіком хімічних речовин у чисте повітря. Кварцовий корпус діє як щільний затвор, який утримує вольфрамову нитку та галогенний газ на своєму місці. Найкраще те, що такі лампи забезпечують радіаційне нагрівання – тепло потрапляє безпосередньо на поверхню об’єкта нагрівання. Не виникає фізичного контакту, не створюється потік повітря, а також не піднімається пил.
Проектування з урахуванням реальних умов
У таких пристроях завжди обмежений простір, тож ми зосереджуємося на високій щільності потужності. Ми хочемо, щоб ці пристрої швидко нагрівалися.
Завдяки тому, що інфрачервона енергія знаходиться у короткохвильовому діапазоні, тепло потрапляє безпосередньо на поверхню об’єкта нагрівання. Це дозволяє уникнути зайвого нагрівання повітря в камері, що означає, що системи охолодження не повинні працювати занадто наполегливо.
Ми також приділяємо багато уваги герметизації проводів. Навіть невелика щілина може стати причиною проникнення забруднень. Ми використовуємо спеціальні матеріали для герметизації, щоб затвор залишався нерухомим навіть під час змін температури.
Проблемні аспекти
Кварц – чудовий матеріал, але він крихкий. Він добре витримує тепло, але не любить ударів чи振動ів.
Порада: не затягуйте кріплення лампи занадто сильно. Якщо не буде достатньо простору для розширення трубки під час нагрівання, вона може тріснути. Потрібно залишити невелику щілину.
Ще одна порада: через високу потужність цих ламп вони можуть пошкодити органічні покриття, якщо пластина знаходиться занадто близько. Обов’язково перевірте фокусну відстань з урахуванням потужності лампи, щоб уникнути пошкодження поверхні.