Làm nóng bằng tia hồng ngoại so với sử dụng không khí nóng: Tại sao quy trình sản xuất lại bị chậm trễ?
Hầu hết các dây chuyền sản xuất vẫn còn sử dụng phương pháp làm nóng bằng không khí nóng. Tôi thường xuyên chứng kiến điều này. Vấn đề lớn nhất ở đây chính là tốc độ làm nóng kém. Không khí là chất dẫn nhiệt tồi tệ; vì vậy chúng ta phải chờ đợi một thời gian dài cho đến khi buồng làm nóng đạt đến nhiệt độ mong muốn. Những chu kỳ khởi động và dừng hoạt động này không chỉ gây phiền toái mà còn làm giảm tốc độ sản xuất.
Sự khác biệt về tốc độ là rất lớn.
Phương pháp làm nóng bằng tia hồng ngoại loại bỏ được bước trung gian này. Thay vì làm nóng không khí để từ đó làm nóng wafer, phương pháp này trực tiếp truyền năng lượng vào vật thể cần làm nóng thông qua bức xạ điện từ.
Trong các quy trình xử lý phức tạp, đây là một lợi thế lớn. Quá trình làm nóng diễn ra gần như ngay lập tức. Nhiệt độ được truyền đến chính xác nơi cần thiết, thời gian xử lý giảm đi, và không cần nhiều diện tích để đặt các thiết bị lớn nữa.
Bây giờ, hãy nói về các lớp vỏ bảo vệ bằng thạch anh.
Các bóng đèn sử dụng trong quy trình sản xuất có nhiệt độ rất cao. Để tránh việc các bộ phận làm nóng bị hỏng, chúng ta sử dụng thạch anh có độ tinh khiết cao để bọc chúng lại. Những lớp vỏ bảo vệ này có hai chức năng chính: thứ nhất, chúng ngăn chặn các chất gây ô nhiễm tiếp xúc với các bộ phận làm nóng, nhờ đó bóng đèn không bị hỏng sớm; thứ hai, chúng giúp lan tỏa nhiệt đều khắp bề mặt. Chúng ta sử dụng thạch anh vì nó không bị ảnh hưởng bởi nhiệt độ cao. Nó cho phép các tín hiệu hồng ngoại đi qua mà không bị hấp thụ năng lượng. Nếu sử dụng loại thủy tinh kém chất lượng, chúng sẽ bị nứt hoặc mờ đi, và độ đồng đều của nhiệt độ sẽ bị ảnh hưởng.
Nhưng đây không phải là giải pháp hoàn hảo.
Việc chuyển sang phương pháp làm nóng bằng tia hồng ngoại cũng mang theo một số khó khăn. Bạn có được tốc độ làm nóng nhanh hơn, nhưng lại mất đi hiệu ứng “làm nóng toàn diện” như phương pháp sử dụng không khí nóng. Phương pháp này chỉ có hiệu quả khi ánh sáng hồng ngoại có thể chiếu trực tiếp vào vật thể cần làm nóng. Nếu ánh sáng không thể chiếu vào vật thể đó, thì nó sẽ không thể làm nóng được.
Điều này có nghĩa là bạn cần phải chú ý kỹ đến vị trí đặt bóng đèn và góc độ của các lớp vỏ bảo vệ. Chỉ cần một sai sót nhỏ thôi cũng có thể dẫn đến tình trạng có những vùng không được làm nóng đầy đủ.
Và một lưu ý nữa: hãy chú ý đến hệ thống làm mát. Những bóng đèn này tạo ra rất nhiệt trong một khu vực nhỏ. Nếu hệ thống làm mát không đủ mạnh để xử lý lượng nhiệt này, các thiết bị sẽ bị biến dạng.
Trước khi lắp đặt chúng vào dây chuyền sản xuất, hãy kiểm tra kỹ cách mà nhiệt được thoát ra. Điều này sẽ giúp bạn tránh được nhiều rắc rối sau này.