如何让100级洁净室始终保持清洁状态？
如果在100级洁净环境中对真空室进行加热，那可真是件麻烦事：哪怕有一粒微小的灰尘或微量气体逸出，都会毁掉你的晶圆或光学涂层。这实在令人沮丧。因为大多数普通加热元件并不适合在这种环境下使用——它们会在需要稳定工作的时候出现故障，或者释放出有害的挥发性有机化合物。
因此，我们选择使用高纯度的合成石英红外灯。**关键就在于石英本身。**我们使用的都是几乎不含杂质的熔融硅石。为什么呢？因为在温度不断变化的情况下，材料不能出现分解现象。普通玻璃在这种压力下会破裂，而这种石英则几乎不会膨胀，能够保持稳定。此外，我们还去除了所有有机粘合剂和填充物。这样一来，当灯泡达到工作温度时，就不会有烟雾或异常气体产生。
应对真空环境的问题。
在真空环境中，对流冷却作用不存在了，因为没有空气来传递热量，所以只能依靠辐射来散热。为此，我们设计了高功率密度的灯泡，这样就能让目标温度上升，而不会让整个腔体壁过热。不过，必须注意电源的匹配问题，电压必须精确控制。如果给高功率灯泡施加过高的电压，就会烧毁灯丝。由于没有空气来带走电极产生的废热，热量就会积聚下来，最终导致设备损坏。
安装注意事项。
为防止连接点发生氧化，我们使用了镀金触点以及经过精密加工的端盖。这些部件可以直接替换现有的灯泡。不过有一点需要注意：虽然石英的化学性质很稳定，但它的物理强度却很差。千万不要触摸玻璃表面。在安装过程中，哪怕只有一个指纹留在上面，也会形成应力点。现在可能看不出来，但一旦灯泡达到1000摄氏度，那个地方就会发生故障。请始终佩戴无尘手套，并在受控环境中操作。这样，您的产品质量就会有所保障。