MEMS传感器晶圆干燥加热器

使用红外线来干燥MEMS晶圆：为何它比传统烤箱更优 如果你想打造现代化的智能制造工厂，那就不能再依赖那些传统的对流式烤箱了。因为它们的速度实在太慢。在干燥MEMS传感器晶圆时，我们选择了短波红外线技术。关键在于速度和响应时间——当生产流程实现数字化且运作速度很快时，这些特性就显得尤为重要。 为什么...