马特森RTP灯管更换

在制造车间里，如果在软烘或硬烘过程中，设定温度出现波动，就很容易导致生产过程出现问题。光刻胶的属性会发生变化，CD控制也会变得不稳定，蚀刻的选择性也会受到影响。如果灯管无法正常工作，那么在工艺完成之前，芯片的温度控制就已经失准了。 至关重要的因素 我们使用的Mattson RTP灯管采用石英外壳包...