何必再浪费时间用热风干燥呢？有更有效的办法来干燥晶圆 如果你曾在旧式的制造车间工作过，那么你肯定知道那种情况：那些巨大的系统只是不断地向晶圆上吹热风，等待水分蒸发。虽然这种方式很简单，但效率极低。 问题在于：空气本身并不擅长传递热量。为了干燥晶圆表面的那层薄薄的水分，不得不消耗大量能量来加热整个腔...

使用红外线来干燥MEMS晶圆：为何它比传统烤箱更优 如果你想打造现代化的智能制造工厂，那就不能再依赖那些传统的对流式烤箱了。因为它们的速度实在太慢。在干燥MEMS传感器晶圆时，我们选择了短波红外线技术。关键在于速度和响应时间——当生产流程实现数字化且运作速度很快时，这些特性就显得尤为重要。 为什么...