无臭氧红外灯

在光刻车间，光刻胶轮廓在曝光之前就已确定。软烘烤或硬烘烤过程中半度的温度漂移会打乱热预算，导致关键尺寸控制失效。我们设计的无臭氧红外灯能迅速抑制这种漂移，将热量精准地传递到工艺所需的位置——晶圆表面。 技术关键点 我们采用石英光学元件的短波红外发射器，实现直视加热，热响应时间低于一秒。输出波长经过...