何必再浪费时间用热风干燥呢？有更有效的办法来干燥晶圆
如果你曾在旧式的制造车间工作过，那么你肯定知道那种情况：那些巨大的系统只是不断地向晶圆上吹热风，等待水分蒸发。虽然这种方式很简单，但效率极低。
问题在于：空气本身并不擅长传递热量。为了干燥晶圆表面的那层薄薄的水分，不得不消耗大量能量来加热整个腔体。这就好比试图通过加热整个厨房来烘干一块盘子一样愚蠢。
去掉不必要的中间环节
这时，红外线技术就派上用场了。与其让热空气去接触晶圆，红外线可以直接作用于水分子，从而迅速促使水分蒸发。这样一来，干燥时间从几分钟缩短到几秒而已。**几秒而已！**这样的速度提升无疑能极大提高生产效率。
此外，无需担心会有“死角”或异常的气流分布，导致某些地方仍然潮湿。红外线能均匀地向整个晶圆表面提供热量。而且，由于不需要吹风，也就不会把灰尘或颗粒重新吹到干净的晶圆上。
更快的速度，更少的麻烦
采用红外线技术的好处不仅在于速度的提升，还在于空间的节省。传统的气流式干燥系统体积庞大，需要大量的鼓风机、复杂的管道以及沉重的热交换器，占据大量空间。而红外线装置则更为紧凑，通常可以轻松安装在现有的空间里。
此外，你的电费也会因此而降低。因为这些灯只有在实际进行干燥操作时才会耗电，不必一直维持高温状态。
需要注意的要点：控制好热量
不过，我要诚实地说——红外线技术的使用需要谨慎处理。如果操作不当或距离过近，很容易使晶圆过热，甚至损坏敏感的光刻胶。它不是那种可以“设置好后就不用管”的工具。你需要精确的控制机制，以及能够快速关闭的阀门，以控制热量。
同时，还需要注意冷却问题。如果不妥善处理那些没有接触到晶圆的辐射热量，就有可能损坏传感器。虽然设置起来需要一些技巧，但由此带来的效率提升绝对值得付出努力。