工厂干燥系统的能源审计

何必再浪费时间用热风干燥呢？有更有效的办法来干燥晶圆 如果你曾在旧式的制造车间工作过，那么你肯定知道那种情况：那些巨大的系统只是不断地向晶圆上吹热风，等待水分蒸发。虽然这种方式很简单，但效率极低。 问题在于：空气本身并不擅长传递热量。为了干燥晶圆表面的那层薄薄的水分，不得不消耗大量能量来加热整个腔...