在生产线中，时钟并不关心当前处于哪个班次。如果预加热过程出现微小的偏差，那么就会导致焊接缺陷、部件错位以及光阻材料利用率下降等问题。因此，需要一种能够恰当地控制温度的预加热装置——将其视为一个必须遵守的工艺参数，而非可有可无的附加条件。 我们设计的预加热装置及其重要性 我们设计这款无铅焊料预加热装...

在光刻车间，光刻胶轮廓在曝光之前就已确定。软烘烤或硬烘烤过程中半度的温度漂移会打乱热预算，导致关键尺寸控制失效。我们设计的无臭氧红外灯能迅速抑制这种漂移，将热量精准地传递到工艺所需的位置——晶圆表面。 技术关键点 我们采用石英光学元件的短波红外发射器，实现直视加热，热响应时间低于一秒。输出波长经过...