微流控器件制造灯

在光刻过程中，哪怕只有0.5摄氏度的温度变化，都可能导致微流控通道的边缘发生纳米级的偏移——而这种偏移会带来产量损失。因此，我们设计了专门的微流控器件制造用光源，以从源头阻止这种偏移，从而确保从第一块晶圆到最后一块晶圆的感光剂涂层参数始终处于规定范围内。 从技术层面来看，这种光源利用石英窗口后面的...