半导体加热器用热电偶

如何保持100级洁净室的清洁状态 在半导体制造领域，哪怕是一粒肉眼看不见的灰尘，都可能毁掉整批晶圆。这简直是场噩梦。因此，在100级洁净室中加热时，绝对不能使用普通的加热元件——因为这类元件会释放出大量气体和颗粒物。 正因如此，我们才选择高纯度的石英红外灯。 为何要选择石英材料 这些灯采用合成熔融...