如何保持100级洁净室的清洁状态
在半导体制造领域，哪怕是一粒肉眼看不见的灰尘，都可能毁掉整批晶圆。这简直是场噩梦。因此，在100级洁净室中加热时，绝对不能使用普通的加热元件——因为这类元件会释放出大量气体和颗粒物。
正因如此，我们才选择高纯度的石英红外灯。
为何要选择石英材料
这些灯采用合成熔融硅制成。如果使用价格更低的硼硅玻璃，就会出现“气体释放”的问题，也就是玻璃中的化学物质会渗入洁净的空气中。而石英材料则能形成良好的密封效果，将钨丝和卤素气体牢牢封在内部。最棒的是，这种灯能够产生辐射热，热量直接作用于目标物体上，无需任何物理接触，也不会产生空气流动或灰尘。
为实际应用而设计
由于这些设备的空间非常有限，所以我们注重提高功率密度，让它们能更快地达到工作温度。通过将红外能量控制在短波范围内，热量可以直接作用于晶圆表面，从而避免浪费时间去加热空气。这样一来，冷却系统也就不必过度工作了。
我们还会特别注意引线处的密封性。哪怕是很小的缝隙，都可能让污染物进入设备内部。我们会使用熔融玻璃来确保密封性，这样即使在温度变化时，密封层也不会出现裂纹。
需要注意的问题
虽然石英材料性能优异，但它很脆弱，不耐撞击。所以，安装时不要过度拧紧支架。如果管子没有足够的空间来膨胀，就很容易断裂。必须留出适当的间隙。
另外，由于这些灯的功率很高，如果晶圆距离过近，就有可能烧坏晶圆表面的涂层。因此，你需要根据灯泡的功率来调整焦距，以避免意外损坏晶圆表面。