工业晶圆厂加热器更换

在晶圆厂车间，烘烤曲线的漂移不会引起明显注意。它只是悄无声息地削减关键尺寸，烧坏光刻胶，并积累废品。当旧加热器无法保持晶圆上的温度均匀性时，你不需要临时修补，而是需要一种像真正工艺参数一样起作用的热控制，而非不确定因素。 技术关键点 我们更换为红外替代加热器，能够提供亚毫米级均匀加热，并实现可重复...