与真空环境兼容的红外加热器

防止灾难发生：在加热器出现故障时保护晶圆免受污染 在高性能半导体生产环境中，如果灯泡损坏了，那可不仅仅是造成短暂的生产中断那么简单——那简直就是一场灾难。如果真空室内的石英管破裂，那不仅意味着有一个部件损坏了，还会导致玻璃碎片四处飞溅，同时还会产生有害气体。这样一来，晶圆就会被污染，整个生产过程也...