尼康步进灯更换

在光刻工艺中，灯具绝不仅仅是一种易耗品。它实际上是所有烘烤过程的温度控制核心，决定了光阻层的厚度，进而影响产品的关键尺寸。一旦灯具的输出功率出现波动，整个系统的温度均匀性就会受到影响。曝光精度也会下降，芯片上的杂质数量也会增加。甚至在开始缺陷检测之前，芯片的良率就已经开始下降。 重要的是要实现可重...