为何我们要在制造过程中采用红外固化技术 在升级洁净室时，通常有两个关键目标：避免能源浪费，同时减少有害物质的排放。 多年来，我们一直依赖对流式烤箱。但问题在于，这类烤箱需要消耗大量能量来加热大量空气，效率极低。此外，让大量空气流动还会增加晶圆被污染的风险。 因此，我们转而使用红外固化技术。这种技术...

在光刻过程中，哪怕只有0.5摄氏度的温度变化，都可能导致微流控通道的边缘发生纳米级的偏移——而这种偏移会带来产量损失。因此，我们设计了专门的微流控器件制造用光源，以从源头阻止这种偏移，从而确保从第一块晶圆到最后一块晶圆的感光剂涂层参数始终处于规定范围内。 从技术层面来看，这种光源利用石英窗口后面的...