精准的红外加热：为何精确控制热量分布对晶圆加工至关重要 在晶圆加工过程中，最关键的一点就是将热量精确地传递到需要的位置，而避免其他地方受到热量影响。 我们设计的红外加热系统正是基于这一理念。传统的整体加热方式，就好比用花园用水管来倒水进玻璃杯——不仅浪费能量，还会让周围的东西也被弄湿。 而我们的定...

在芯片制造过程中，光刻胶的烘烤并非简单的加热过程——实际上，这一过程直接决定了芯片的良率，因为每一块芯片的加工质量都依赖于精确的温度控制。如果烘烤温度发生1°C的波动，就可能导致芯片的尺寸偏差、表面出现瑕疵，还会增加芯片中的杂质含量。因此，我们设计了专门的红外加热系统，以此来消除这些不确定性。 我...