晶圆加热的安全距离

别再把热量浪费在机箱上了：更有效的芯片加热方式 在加热芯片时，我们希望能量能够直接作用于芯片本身。当然，我们不希望这些热量被浪费在机器的墙壁上。 问题在于，普通的红外灯会向各个方向散发热量，也就是360度全方位发热。在空间有限的半导体制造环境中，这无疑会导致灾难性后果。内壁就像巨大的吸热体，从而形...