晶圆加工设备用温度传感器

停止等待吧：为什么红外线加热比强制对流加热更高效 在选择用于深度加工的加热设备时，实际上就是在决定如何传递能量。大多数人首先会选择强制对流加热方式，因为这是标准做法。但问题在于，空气只是个中间介质而已。你先加热空气，再希望空气能把热量传递给晶圆。这个过程相当缓慢。 而红外线加热则省去了这个中间环节...