在光刻工艺中，灯具绝不仅仅是一种易耗品。它实际上是所有烘烤过程的温度控制核心，决定了光阻层的厚度，进而影响产品的关键尺寸。一旦灯具的输出功率出现波动，整个系统的温度均匀性就会受到影响。曝光精度也会下降，芯片上的杂质数量也会增加。甚至在开始缺陷检测之前，芯片的良率就已经开始下降。 重要的是要实现可重...

在晶圆厂车间，烘烤曲线的漂移不会引起明显注意。它只是悄无声息地削减关键尺寸，烧坏光刻胶，并积累废品。当旧加热器无法保持晶圆上的温度均匀性时，你不需要临时修补，而是需要一种像真正工艺参数一样起作用的热控制，而非不确定因素。 技术关键点 我们更换为红外替代加热器，能够提供亚毫米级均匀加热，并实现可重复...