Přestaňte čekat na správnou teplotu waferů: Proč je infračervené zahřívání lepší než zahřívání pomocí vzduchu
Při výběru zařízení na hluboké zpracování waferů v podstatě rozhodujete o tom, jak chcete převádět energii. Většina lidí začíná s použitím horkého vzduchu – je to standard. Problém je však v tom, že vzduch je jen prostředník. Zahřejete vzduch a poté doufáte, že ten vzduch ohřeje wafer. Je to pomalé.
Infračervené zahřívání eliminuje tento prostředník – energie se přenáší přímo na povrch waferu. Žádné čekání, žádné zbytečnosti.
Skutečné náklady spojené s čekáním
Pokud jste již používali konvekční systémy, víte o tom otravném termickém zpoždění. Vzduch neudržuje teplo dobře, a ta tenká vrstva vzduchu na povrchu waferu působí jako „štít“, který vše zpomaluje. Ty ztracené sekundy nebo minuty možná nevypadají jako velký problém u jednoho waferu. Ale v továrně s vysokou kapacitou? Je to noční můra.
S infračervenými lampami dosáhnete požadované teploty téměř okamžitě. Mluvíme o zkrácení doby na minutky. Nejde o nějaký abstraktní „měřítko efektivity“ – jde o to, abyste každou hodinu vyrobili více waferů, protože nemusíte čekat, než se komora ohřeje.
Úklid prostoru
Kromě toho umožňuje použití infračervených lamp ušetřit prostor. Nemusíte používat obrovské ventilátory a složité potrubí potřebné k cirkulaci horkého vzduchu.
A co je ještě lepší: infračervené lampy umožňují cílené zahřívání. Pokud je jedna část waferu studená, můžete zaměřit se právě na tu oblast a upravit teplotu, aniž byste narušili zbytek waferu. Je to mnohem přesnější.
Nevýhody
Infračervené zahřívání však není magické řešení. Protože je tak rychlé, je snadné překročit požadovanou teplotu, pokud není správně nastavený regulační mechanismus. Nemůžete prostě „nastavit a zapomenout“. Potřebujete rychlé senzory a regulátory, které dokážou okamžitě odstranit nadbytečné teplo.
Také si dejte pozor na chlazení. Pokud váš systém nedokáže odvést teplo ze zdroje svitu, vaše teplota bude stoupat. A prosím, používejte správné termální ochrany. Jinak můžete poškodit své vlastní elektroniky.