Schutz Ihrer Infrarotheizer in der Nähe von flüchtigen Chemikalien
Wenn Sie Halbleiter reinigen, arbeiten Sie buchstäblich mit „Feuer“. Überall gibt es brennbare Lösungsmittel sowie explosive Chemikalien. In einer solchen Umgebung ist ein kleiner Funke oder ein Kurzschluss im Heizelement kein bloßer technischer Fehler – das ist eine Katastrophe.
Deshalb spielen wir nicht mit den Verbindungen zwischen den Drähten herum. Wir verwenden Teflon-(PTFE-)Drähte sowie eine spezielle Art von Isolierung für unsere Infrarotlampen – damit nichts explodiert.
Warum wir auf PTFE setzen
Wenn man Standard-PVC- oder Silikondrähte verwendet, gehen diese kaputt. Die aggressiven Reinigungsmittel zerstören sie einfach. PTFE hingegen ist chemisch inert – es ist egal, ob es mit Säuren oder Basen in Berührung kommt, die zur Reinigung der Wafer verwendet werden. Zudem kann PTFE die Hitze aushalten. Selbst wenn die Lampe maximalen Strom verbraucht, schmilzt PTFE nicht und gibt keine unerwünschten Dämpfe ab. Es bleibt einfach an seinem Platz und leitet den Strom dorthin, wo er hingehört.
Abdichten der Verbindungen
Wir beschränken uns nicht darauf, die Drähte einfach zu umwickeln. Die eigentliche Gefahrenzone ist dort, wo die Leitdrähte mit dem Quarzrohr verbunden sind. Dort versagen die meisten Heizgeräte. Um das zu beheben, verwenden wir hochwertige Dichtstoffe, um diese Verbindungen abzudichten. Dadurch entsteht eine physische Barriere, die chemische Dämpfe ausschließt. Ohne eine gute Abdichtung können diese Dämpfe in den Lampenkörper eindringen. Sobald sie dort sind, korrodieren sie den Wolframfaden oder verursachen Kurzschlüsse. Das ist sicherlich nicht gut.
Ein paar Hinweise zu den Nachteilen
Es gibt allerdings auch Nachteile: Der Einsatz von Teflon sowie schwerer Dichtstoffe erhöht den Wärmewiderstand. Dadurch dauert es etwas länger, bis die Lampe warm wird. Das ist jedoch ein geringer Preis für die Sicherheit. Sie sollten Ihre PID-Controller entsprechend anpassen, damit Sie mit dieser Verzögerung umgehen können. Andernfalls könnte es zu Überschreitungen der Temperatur kommen.
Einbau in die Reinraumumgebung
Wenn Sie die Heizgeräte in Ihre Maschinen einbauen, werden Sie die Vorteile des PTFE-Isoliermaterials zu schätzen wissen. Es ermöglicht es Ihnen, enge Biegungen zu machen, ohne dass die Isolierung beschädigt wird. So wird vermieden, dass das Heizgerät in einer gefährlichen Umgebung eine Explosion auslöst. Tun Sie mir einen Gefallen: Beachten Sie immer die zulässige Spannung und stellen Sie sicher, dass die Erdung einwandfrei funktioniert. PTFE kann statische Aufladungen erzeugen – das möchten Sie sicherlich vermeiden.