इन्फ्रारेड का उपयोग करके MEMS वेफरों को सुखाना: पुराने ओवनों की तुलना में यह क्यों बेहतर है?
यदि आप एक आधुनिक, स्मार्ट फैक्ट्री बनाना चाहते हैं, तो आपको पुराने ओवनों पर ही निर्भर नहीं रहना चाहिए। ऐसे ओवन बहुत ही धीमे होते हैं। MEMS सेंसर वेफरों को सुखाने हेतु हम शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड प्रणालियों का उपयोग करते हैं। ऐसी प्रणालियाँ गति एवं प्रतिक्रिया समय के मामले में बेहतर होती हैं… जो कि डिजिटलीकृत उत्पादन प्रक्रियाओं हेतु आवश्यक है।
इन्फ्रारेड क्यों कारगर है?
इन्फ्रारेड की विशेषता यह है कि यह वेफर के आसपास की हवा को गर्म करने में समय नहीं बर्बाद करता। यह सीधे ही वेफर की सतह पर ही प्रभाव डालता है। यह बहुत ही फायदेमंद है, क्योंकि इससे अन्य उपकरणों के ओवरहीट होने की समस्या नहीं होती। इसके अलावा, चूँकि आप वाटेज को ठीक से नियंत्रित कर सकते हैं, इसलिए इसे सीधे PLC से जोड़ा जा सकता है। यदि वेफर की मोटाई बदल जाती है, या आप उत्पादन दर को बढ़ाना चाहते हैं, तो आप वास्तविक समय में ही ऊर्जा को समायोजित कर सकते हैं… बिना किसी देरी के।
हार्डवेयर संबंधी जानकारी
हम ऐसे हीटरों को ऐसी परिस्थितियों में भी काम करने हेतु डिज़ाइन करते हैं… जहाँ स्वच्छता की आवश्यकता होती है। हम उच्च शुद्धता वाले क्वार्ट्ज मटेरियल का उपयोग करते हैं… ताकि कोई अशुद्धता सेंसरों को नुकसान न पहुँचा सके। हम उच्च ऊर्जा घनत्व की भी व्यवस्था करते हैं… ताकि सुखाने की प्रक्रिया जल्दी ही पूरी हो सके।
लेकिन एक बात ध्यान में रखें… अपने पावर सप्लाई पर ध्यान दें! यदि वोल्टेज उचित न हो, तो लैंप जल्दी ही खराब हो जाएँगे। इसके अलावा, ये लैंप बहुत ही गर्म हो जाते हैं… न केवल वेफर पर, बल्कि लैंपों के छोरों पर भी। ऐसी स्थिति में ऐसे ही कनेक्टरों एवं वायरिंग का उपयोग करें, जो इस गर्मी को सह सकें… वरना टर्मिनल पिघल जाएँगे।
लाभ एवं हानियाँ
इन्फ्रारेड प्रणालियाँ तो बहुत ही तेज़ हैं… गर्म हवा की तुलना में लगभग 60% तेज़। लेकिन इसकी एक कमी भी है… यह केवल एक दिशा में ही प्रभाव डालता है। यदि वेफर रैक थोड़ा भी असंतुलित हो, तो कुछ हिस्से ठंडे रह जाएँगे। इसलिए रिफ्लेक्टर की ज्यामिति पर ध्यान देना आवश्यक है… ताकि गर्मी वेफर के हर हिस्से तक पहुँच सके।
चूँकि ये प्रणालियाँ बहुत ही उच्च प्रदर्शन वाली हैं, इसलिए इनकी देखभाल भी आवश्यक है… ताकि क्वार्ट्ज ट्यूबों में कोई अशुद्धता न जम जाए। लेकिन गति हेतु यह एक छोटी कीमत ही है।