赤外線を使ったMEMSウェーハの乾燥：なぜ従来のオーブンより優れているのか
現代的でスマートな製造工場を構築しようとするなら、古くて遅い対流式オーブンに頼ってはいけません。MEMSセンサーのウェーハを乾燥させるには、短波長の赤外線を利用するのが最適です。重要なのは速度と応答時間です。つまり、生産ラインがデジタル化されて高速で動いている状況では、このような速さが求められます。
赤外線が効果的な理由
赤外線の利点は、ウェーハの周囲の空気を加熱する時間を無駄にしないことです。直接ウェーハの表面に熱が当たります。これにより、他の機器が過熱する心配もありません。また、出力を正確に制御できるため、PLCに直接接続して使用できます。ウェーハの厚みが変わったり、処理量を増やしたい場合でも、リアルタイムで出力を調整すればよいのです。大きな空気循環装置が温まるのを待つ必要はありません。
ハードウェアについて
私たちは、クリーンルームの厳しい環境に耐えられるように、これらのヒーターを設計しています。高純度の石英製のケースを使用することで、不純物がセンサーを壊す心配がありません。また、高い出力密度を実現することで、できるだけ迅速に乾燥させることができます。
ただし、注意点があります。**電源には十分注意しましょう。**電圧がランプに合っていないと、ランプが早く壊れてしまいます。また、これらのランプは非常に高温になります。ウェーハだけでなく、ランプの両端も同様です。耐熱性の高いコネクタや配線を使用しないと、端子が溶けてしまいます。見栄えも良くありません。
長所と短所
赤外線は速いです。熱風に比べて60％も速いのです。しかし、方向性があるという欠点があります。ウェーハの位置が少しでもずれると、冷たい部分ができてしまいます。ウェーハの各部分に均等に熱が当たるように、反射板の配置には細心の注意が必要です。また、これらのシステムは高性能なため、メンテナンスも必要です。石英管に残留物やガスが付着しないように、定期的な清掃が必要です。しかし、その分、速さを得ることができます。