クラス100のクリーンルームを本当に清潔な状態に保つために
クラス100の環境で作業を行うとき、最も避けたいのが、ヒーターから破片やガスが発生し、作業エリアに混入することです。それは大変な問題です。さらに、洗浄工程がある場合は、湿気の問題もあります。湿気は、真空環境や無菌環境にとって敵と言えます。
私たちはこの問題を解決するために多くの時間を費やしました。その結果、高純度の合成石英製の赤外線ランプが最適だとわかりました。これらのランプは、湿った環境での洗浄処理用に特別に設計されています。
微粒子との戦い
一般的な石英は何とか使えますが、高温下では破片が出たり、汚れが放出されたりします。ゼロ汚染を目指すには好ましくありません。
私たちは高純度の融成シリカを使用しています。高温になってもほとんど膨張しないため、微細な破片が出ることはありません。また、洗浄工程用のため、ランプはしっかりと密封されています。もし、水滴が発光しているタングステンフィラメントに当たると、ランプは即座に壊れてしまいます。
水の問題への対処
密閉性を保つため、エンドキャップには専用の密封装置があります。これにより、高湿度の洗浄エリアの真ん中にヒーターを設置しても、漏れの心配はありません。
石英製のケースは素晴らしく、短波長の赤外線を直接通過させることができます。エネルギーは必要な場所、つまりワークピースに直接届きます。
注意点
高純度の石英は清潔さを保つのに優れていますが、通常使われているホウケイ酸ガラスよりももろいです。
絶対にチューブを押さないでください。
本当です。取り付け時に過度な力を加えると、ランプが壊れてしまいます。必ずフローティングマウントを使用しましょう。そうすれば、ランプがしっかりと固定され、膨張するスペースが確保されます。もしブラケットがきつすぎると、電源を入れた瞬間に「ポッ」という音がします。
ラインに取り付ける方法
半導体や医療機器の洗浄ラインを運用している場合、これらのランプは、以前使っていた赤外線ヒーターの代わりに簡単に取り付けられます。
最良な点は、汚染を元から防げるため、加熱された空気や液体の二次的なフィルタリングの心配が不要になることです。ただし、電源が十分なワット数を供給できるかを確認してください。長いクリーンルーム用ケーブルが原因で電圧降下が起き、効率が低下してしまうことがあります。