Tại sao không nên tiếp tục sử dụng phương pháp thổi khí nóng nữa? Một cách tốt hơn để làm khô các tấm wafer
Nếu bạn từng làm việc trong các nhà máy sản xuất truyền thống, bạn chắc hẳn đã quen với cách làm này rồi. Người ta sử dụng những hệ thống thổi khí nóng lên các tấm wafer, hy vọng rằng nước trên bề mặt wafer sẽ bay hơi. Đó là một phương pháp đơn giản, nhưng lại rất chậm.
Vấn đề là không khí không thể truyền nhiệt hiệu quả. Bạn phải tiêu tốn rất nhiều năng lượng để làm nóng toàn bộ buồng chứa, chỉ để làm khô một lớp nước mỏng trên bề mặt wafer. Điều này giống như việc cố gắng làm khô một chiếc đĩa bằng cách làm nóng cả căn bếp vậy.
Loại bỏ yếu tố trung gian
Đây chính là lúc công nghệ sóng hồng ngoại vào cuộc. Thay vì làm nóng không khí và hy vọng rằng nhiệt sẽ lan tỏa đến các tấm wafer, sóng hồng ngoại có thể tác động trực tiếp lên các phân tử nước.
Chúng tôi sử dụng các đèn sóng hồng ngoại bước sóng ngắn để kích thích quá trình bay hơi ngay lập tức. Thời gian cần thiết để làm khô wafer giảm từ vài phút xuống còn vài giây thôi. Điều này thay đổi hoàn toàn hiệu suất công việc.
Ngoài ra, bạn cũng không cần lo lắng về các “vùng ẩm ướt” hay các luồng khí kỳ lạ khiến một số vị trí trên wafer vẫn ướt. Sóng hồng ngoại mang lại nguồn năng lượng ổn định cho toàn bộ bề mặt wafer. Và vì không cần phải thổi khí, bạn cũng không lo bụi bẩn bám vào wafer nữa.
Tốc độ nhanh hơn, ít rắc rối hơn
Việc chuyển sang sử dụng sóng hồng ngoại không chỉ giúp tăng tốc độ mà còn giúp tiết kiệm diện tích.
Các hệ thống thổi khí thông thường rất cồng kềnh. Chúng cần những máy thổi khí cỡ lớn, nhiều ống dẫn khí, và các bộ trao đổi nhiệt nặng nề. Chúng chiếm quá nhiều diện tích. Trong khi đó, hệ thống sóng hồng ngoại thì gọn nhẹ hơn nhiều. Đó là một thiết bị nhỏ gọn, có thể được lắp đặt ngay vào vị trí đã có sẵn.
Chi phí điện năng cũng sẽ giảm đi. Các đèn sóng hồng ngoại chỉ hoạt động khi thực sự cần thiết. Bạn không cần phải trả tiền để duy trì nhiệt độ cao 24/7 nữa.
Nhược điểm: Cần chú ý đến nhiệt độ
Thật lòng mà nói, sóng hồng ngoại rất mạnh. Nếu bạn không kiểm soát tốt thời gian và khoảng cách, bạn có thể làm nóng quá mức các tấm wafer hoặc phá hủy lớp chống chịu ánh sáng trên bề mặt wafer. Đây không phải là công cụ mà bạn có thể sử dụng một cách tùy tiện. Bạn cần kiểm soát chặt chẽ nhiệt độ và sử dụng các bộ điều khiển để kiểm soát lượng nhiệt được truyền vào wafer.
Bạn cũng cần chú ý đến việc làm mát. Nếu bạn không xử lý tốt nhiệt lượng không truyền vào wafer, bạn có thể làm hỏng các cảm biến của mình. Việc thiết lập hệ thống này đòi hỏi sự chính xác cao, nhưng kết quả thu được thì rất xứng đáng.