جلوگیری از بارش تکههای شیشهای: حفظ تمیزی ویفرها در صورت خرابی لامپها
در فرآیندهای تولید نیمههادی با حجم بالا، خرابی لامپ میتواند یک فاجعه باشد. مشکل فقط توقف فعالیت دستگاه نیست؛ بلکه آشفتگی ناشی از آن نیز مشکلات زیادی ایجاد میکند.
وقتی لولههای مربوط به نور مادون قرمز خراب میشوند، تکههای کوارتز و گاز هالوژن روی ویفرها میافتند. این امر میتواند باعث از بین رفتن کل محصولات تولید شده شود. ما از دیدن چنین اتفاقاتی خسته شدیم؛ بنابراین لامپهایی ساختیم که از بروز چنین فاجعههایی جلوگیری کنند.
ساختار مناسب برای مقاومت در برابر گرما
اکثر لولهها به دلیل نقاط گرم بیش از حد یا استرس ناشی از فشار، خراب میشوند؛ بهویژه زمانی که دماها به سرعت تغییر میکنند. ما این مشکل را با تقویت ساختار کوارتز و تنظیم دقیق محل قرارگیری فیلامنت، برطرف کردیم.
هدف ما ساده است: توزیع یکنواخت گرما در سراسر شیشه. بدین ترتیب، هیچ گونه تفاوت دمایی وجود نخواهد داشت، و خطرات ناشی از فشار نیز کاهش خواهد یافت.
سیستم ایمنی
برای جلوگیری از تماس تکههای شیشهای با ویفرها، ما یک پوشش ایمنی اضافه کردیم؛ در واقع، این پوشش نوعی سپر محافظ از جنس کوارتز است. اگر لامپ داخلی خراب شود، این پوشش تکههای شیشهای را جذب میکند و آنها را در جای خود نگه میدارد.
همچنین، ما از مواد با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ بنابراین وقتی لامپها را روشن میکنید، هیچ باقیمانده فلزی روی سطوح نیمههادی ایجاد نخواهد شد.
تضادهای موجود
مشکل اینجاست که استفاده از پوشش ایمنی، باعث کاهش کمی کارایی لامپ میشود؛ بخشی از انرژی مادون قرمز توسط این پوشش جذب میشود.
آیا این راه حل ایدهآلی است؟ خیر. اما این قیمت کوچکی است که برای جلوگیری از فاجعههای ناشی از آلودگی، باید پرداخت شود. شما فقط باید تنظیمات توان لامپ را تغییر دهید یا زمان کار لامپ را کمی افزایش دهید تا این کاهش کارایی جبران شود.
چند توصیه مفید
هنگام وصل کردن لامپها، به کنترلرهای PID توجه کنید؛ زیرا آنها باید برای تحمل حرارت بیشتر ناشی از پوشش ایمنی، تنظیم شوند. اگر در حین روشن شدن لامپ، دما بیش از حد افزایش یابد، فشار بیش از حد بر فیلامنت وارد خواهد شد.
همچنین، به فنهای خنککننده موجود در انتهای لامپها توجه کنید؛ اگر لامپها ۲۴ ساعته کار کنند، این فنها بدون باد مناسب، خراب خواهند شد.