دریافت حرارت بیشتر در جاهایی که واقعاً مهم هستند
وقتی که سعی میکنید ویفرها را گرم کنید، نمیخواهید انرژی را هدر دهید. این موضوع خیلی ساده است؛ شما میخواهید تمام انرژی مادون قرمز به سطح ویفر برسد، نه اینکه این انرژی به بدنه دستگاه منتقل شده و فضای اطراف را گرم کند.
اکثر افراد از آلومینیوم برای این منظور استفاده میکنند؛ البته آلومینیوم نیز مقداری از حرارت را منعکس میکند. اما اگر میخواهید از انرژی مادون قرمز با طول موج کوتاه و متوسط استفاده کنید، استفاده از طلا بهترین راه است. میزان بازتاب نور توسط طلا بیش از ۹۸٪ است.
دلیل اهمیت این موضوع چیست؟
لامپها منبعی پر از انرژی هستند؛ آنها انرژی را در همه جهات پخش میکنند، حتی در جاهایی که به آن انرژی نیازی نیست. ریفلکتورهای طلا، این انرژی را دوباره به سمت ویفر هدایت میکنند.
این موضوع صرفاً مربوط به افزایش کارایی نیست؛ شما در واقع مقدار واتهایی که به هر سانتیمتر مربع از سطح ویفر میرسد، را افزایش میدهید. بهترین بخش این است که میتوانید ولتاژ لامپ را کم کنید، اما باز هم ویفر را در همان دما نگه دارید.
اما یک مشکل وجود دارد…
ما این ریفلکتورها را برای استفاده در فضاهای کوچک طراحی کردهایم؛ اما این امر باعث ایجاد فشار زیادی بر بدنه دستگاه میشود. اگر مقدار انرژی بازتابی را افزایش دهید، باید مطمئن شوید که فنهای خنککننده یا سیستمهای آبی میتوانند این فشار را تحمل کنند. اگر از انباشتگی گرما در اطراف لامپ چشمپوشی کنید، کانکتورها و لامپها خیلی سریع خراب خواهند شد.
چگونه این موضوع در عمل به کار میآید؟
وقتی که سیستم ریفلکتور طلا را نصب کنید، تفاوت را در زمان گرم شدن ویفر خواهید دید؛ این فرآیند بسیار سریع انجام میشود.
از آنجایی که انرژی بسیار متمرکز است، ویفر کمتر در منطقه گرمایشی میماند. این موضوع مشکل ناشی از گرم شدن لبههای ویفر را حل میکند.
فقط یک نکته: سیستم را تمیز نگه دارید.
نمیتوانم بر اهمیت این موضوع تأکید کنم؛ حتی کمی گرد و غبار یا باقیماندههایی از گازهای تولید شده روی سطح طلا، باعث کاهش بازتاب نور میشود. در این صورت، نقاط گرمی روی ویفر ایجاد میشود و سیستم دیگر به درستی کار نخواهد کرد. حتماً برنامهای برای تمیزکاری سیستم داشته باشید.