ステンレス製ヒーターハウジング製造
スマートファブで適切な温度管理を実現するには
スマートファブを構築する際、誰もがデータのことを話します。しかし実際には、加熱方法がそのデータに影響を与えることがあります。従来の加熱方式では、時間的な遅れが生じ、何が起こっているのかを推測するしかありません。
だからこそ、私たちは高効率な赤外線システ...
半導体ヒーター用熱電対
クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために
半導体製造現場では、目に見えないほど微細なほこり一つで、大量のウェーハが台無しになってしまいます。これは本当に悪夢のような状況です。そのため、クラス100の環境で加熱を行う際には、普通のヒーターを使うわけにはいきません。なぜなら、そうしたヒ...
金製反射板付き赤外線電球
機械全体を加熱するのではなく、対象となる部品だけを加熱しましょう。 一般的な赤外線ランプの問題点は、熱があらゆる方向に放射されることです。もし半導体製品のように狭い空間で作業している場合、これは大変な悩みです。そのエネルギーのほとんどは作業対象物に当たらず、機械の内壁に当たってしまいます。すぐに機...
クリーンルーム用赤外線ヒーター
半導体製造装置を加熱するためのより良い方法
一部の機器がどうしてこんなに熱くなるのか、気づいたことはありますか？作業している部分だけでなく、装置全体が熱くなってしまいます。
これが、一般的な対流式ヒーターの問題点です。対流式ヒーターは空気を加熱しようとしますが、その結果、装置の壁面も含めてすべての...
バスルームヒーター
なぜ、バスルーム用の照明器具を「試験室」で厳しいテストにかけるのか？
正直に言うと、バスルームは電子機器にとって最悪の環境です。至る所に水蒸気があり、温度も急激に変化し、湿度も高い。これはまさに災害を引き起こす条件です。もしヒートランプの仕様が適切でなければ、密封部分が壊れてしまい、フィラメントが...
半導体ヒーター用テフロン線
揮発性化学物質の近くで赤外線ヒーターを安全に使うために
半導体を清掃するときは、まるで火遊びをしているようなものです。周囲には可燃性の溶剤や爆発性の化学物質があふれています。そうした環境では、わずかな火花やヒーター部品の短絡は、単なる技術的なトラブルでは済みません。それは大災害につながります。
だ...
省エネ型半導体ヒーター
ガラスの破片がウェーハに当たるのを防ぐ：ランプが故障したときにウェーハをきれいに保つ方法 大量生産の半導体製造において、ランプが壊れるのは大変な問題です。停止時間だけでなく、散乱するガラスの破片やハロゲンガスも大きな問題となります。赤外線ランプが壊れると、石英の破片やハロゲンガスがウェーハに直接当...
グローブボックス用赤外線ヒーター素子
IRヒーターがグローブボックスを破壊するのを防ぐ方法
もし化学物質の洗浄にグローブボックスを使用しているなら、ご存知の通り、そこでは揮発性の溶剤や可燃性の蒸気が存在します。これは非常に危険な環境です。通常の赤外線ランプを使うと、問題が起きやすくなります。石英管にわずかな火花が走ったり、微細なひび割...
クリーンルームの設備を更新し 製造工程を改善する
なぜファブでIR硬化方式を採用するのか？ クリーンルームをアップグレードする際には、大きく分けて2つの課題があります。1つは無駄なエネルギーの消費を止めること、もう1つは有害な排出物を出さないことです。 長年にわたり、私たちは対流式オーブンを利用してきました。しかし、問題点は、大量の空気を加熱する...
洗浄用防水赤外線ランプ
クラス100のクリーンルームを本当に清潔な状態に保つために
クラス100の環境で作業を行うとき、最も避けたいのが、ヒーターから破片やガスが発生し、作業エリアに混入することです。それは大変な問題です。さらに、洗浄工程がある場合は、湿気の問題もあります。湿気は、真空環境や無菌環境にとって敵と言えます。...
ウェーハ加熱時の安全距離
ケース内部での加熱をやめよう：ウェーハを加熱するためのより良い方法 ウェーハを加熱するときは、エネルギーが直接ウェーハに当たることが重要です。機械の壁面にエネルギーが当たってはいけません。
問題は、一般的な赤外線ランプでは、熱が360度全方位に放出されてしまう点です。狭い半導体製造装置内では、これ...
防水型電気パティオヒーター
屋外用ヒーターを雨や霧から守る方法
屋外用ヒーターは、常に湿気と戦っているのです。突然の雨や夕方の強い露も含め、水こそが最大の敵です。これが、多くのパティオヒーターが短絡したり、本来よりも早く動かなくなってしまう主な理由です。
飛び散った水の対処法
通常、水はまず電気端子部分に入り込みます。そこか...
半導体用ゴールドコーティングインフラレッドランプ
熱の無駄遣いをやめよう：なぜ金コーティングされたIRランプが効果的なのか
正直に言えば、半導体装置においてエネルギーを無駄にするのは、単なる悪い設計に他なりません。
一般的な赤外線ランプでは、エネルギーが360度の方向に散らばってしまいます。つまり、高価な電力の半分が無駄になり、ウェーハを加熱する...
天井取り付け型赤外線ヒーター
なぜ天井付きヒーターが壊れてしまうのか（そして、その対処法） 実は、現場で知られている秘密があります。ほとんどの天井取り付け型の赤外線ヒーターが壊れる原因は、ヒーター素子が焼損するからではありません。それはめったに問題になりません。 本当の原因は、ワイヤーの接続部分です。 これらのヒーターを工業用...
認定済みの赤外線硬化ランプ製造業者
なぜ半導体製造工場は、従来のオーブンを捨てて赤外線による硬化処理を採用するのか？ 長い間、半導体製造工場では、大規模な対流式オーブンや多量の有害な化学物質を使って作業を行ってきました。しかし、状況は変わりつつあります。ますます多くの工場が赤外線による硬化処理を採用しています。その理由は何でしょうか...