なぜ無駄なエネルギーを使うのか？ウェーハを乾燥させるより良い方法 古い製造ラインで働いたことがある人なら、そのやり方がどんなものかわかるでしょう。巨大なシステムを使ってウェーハに熱風を当て、水が蒸発するのを待つだけです。確かにシンプルな構造ですが、非常に時間がかかります。 問題は、空気は熱を伝える...

赤外線を使ったMEMSウェーハの乾燥：なぜ従来のオーブンより優れているのか 現代的でスマートな製造工場を構築しようとするなら、古くて遅い対流式オーブンに頼ってはいけません。MEMSセンサーのウェーハを乾燥させるには、短波長の赤外線を利用するのが最適です。重要なのは速度と応答時間です。つまり、生産ラ...