真空対応型赤外線ヒーター

悪夢を止める：ヒーターが故障したときでもウェーハを清潔に保つ方法 高負荷の半導体製造プロセスにおいて、ランプが壊れることは単なる煩わしいトラブルではありません。それは大惨事です。もし真空チャンバー内で石英管が破裂すれば、単に部品が破損するだけでなく、ガラスの破片や有害なガスが至る所に飛び散ります。...