ライン上では、時間帯などは全く気にされません。予熱プロファイルにわずかな誤差があるだけで、はんだの欠陥や位置ずれ、フォトレジストの歩留まり低下といった問題が次の工程で発生してしまいます。そのため、ウェーハを適切に予熱するための装置が必要です。つまり、熱的な制約を単なる「便利な要素」ではなく、厳格な...

リソグラフィ工程では、露光前にフォトレジストのプロファイルが設定されます。ソフトベークまたはハードベーク中の0.5度の温度ドリフトは熱予算を狂わせ、クリティカルディメンションの制御に影響を与えます。当社のオゾンフリー赤外線ランプは、まさにそのドリフトを抑制し、プロセスが必要とする場所、すなわちウェ...