ガラスの破片がウェーハに当たるのを防ぐ：ランプが故障したときにウェーハをきれいに保つ方法 大量生産の半導体製造において、ランプが壊れるのは大変な問題です。停止時間だけでなく、散乱するガラスの破片やハロゲンガスも大きな問題となります。赤外線ランプが壊れると、石英の破片やハロゲンガスがウェーハに直接当...

ファブ内では、ウェーハの乾燥やフォトレジストの加熱処理中に発生する熱変動に対して、警告音は鳴りません。その結果として、線幅のばらつきや接着不良、廃棄品が発生します。一方、石英製の加熱ランプは、必要な場所に赤外線エネルギーを届け、迅速に反応し、所定の温度範囲を維持します。 技術的に重要なのは、エネル...