電磁波加熱と熱風加熱：なぜ製造ラインが待ち時間を抱えるのか ほとんどの製造ラインでは、依然として熱風を使った加熱方式が採用されている。これはよく見られる光景です。問題は、その遅さです。空気は非常に悪い熱伝導体です。結果として、時間だけが過ぎていき、チャンバーが設定温度に達するのを待つしかありません...

ファブ内では、ウェーハの乾燥やフォトレジストの加熱処理中に発生する熱変動に対して、警告音は鳴りません。その結果として、線幅のばらつきや接着不良、廃棄品が発生します。一方、石英製の加熱ランプは、必要な場所に赤外線エネルギーを届け、迅速に反応し、所定の温度範囲を維持します。 技術的に重要なのは、エネル...