精密な赤外線加熱：ウェーハ加工において、焦点を絞った加熱がなぜ重要なのか ウェーハ加工において重要なのは、必要な場所にだけ熱を送り、他の場所には熱が行かないようにすることです。 私たちは、この目的を念頭に置いて赤外線加熱装置を開発しています。従来の広範囲にわたる加熱方式では、まるでガーデンホースを...

ファブの現場では、フォトレジストのベイク処理は単なる温めるだけの作業ではありません。それは、ウェーハごとに歩留まりを決定する重要な要素です。ソフトベイクやハードベイク時の温度が1℃変動するだけで、CD値が変わり、スカムが発生したり、粒子数が悪化したりします。私たちは、このような変動をなくすために、...