機械自体を加熱するのではなく、センサーを加熱しましょう。 もしバイオセンサーを作ったことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。基板にだけ熱を当てる必要があります。 しかし問題は、一般的な赤外線ランプでは熱があらゆる方向に散らばってしまうことです。狭い半導体チャンバー内では、無駄になったエネル...

なぜ赤外線が水素センサーの分野で優位に立っているのか 水素センサーを作る上で重要なのは、熱処理です。センシング材料が安定するためには、正確な熱処理が不可欠です。 しかし問題は、ほとんどの工場が依然として古くて効率の悪い熱風オーブンを使っていることです。これは非常に時間のかかるプロセスです。部品自体...

なぜ無鉛製造工場でIR照射に切り替えるのか ほとんどの半導体製造工場では、もはや古い対流式オーブンや溶剤を多用する乾燥方法を使わなくなっています。そろそろそうすべき時期です。IR照射方式が広く採用されているのは、生産速度を落とすことなく、「環境に優しい」「無鉛」な条件を実現できるからです。 物理的...

CNT製造において熱を最大限に活用する方法 ウェーハ上で炭素ナノチューブを成長させる際には、熱が必要です。しかしそれだけでは不十分です。エネルギーが適切に利用されないと、パワーの無駄遣いになり、均一でない成長結果になってしまいます。 そこで役立つのが、金でコーティングされた反射板です。エネルギーが...

バイオセンサーの製造において、適切な熱を得ることは非常に重要です。化学結合を促進し、表面を活性化させるためには十分な熱が必要ですが、過度に熱を加えると基材が損傷してしまいます。つまり、微妙なバランスが求められるのです。 そのため、私たちは赤外線システムを利用しています。赤外線システムは非常に高速で...

リソグラフィーの工程において、わずか0.5℃の温度変動でも、マイクロ流体チャネルの端がナノメートル単位で変位してしまいます。そして、その変位が原因で歩留まりが低下してしまいます。私たちは、このような温度変動を根本的に防ぐために、マイクロ流体デバイス製造用のランプを開発しました。これにより、最初のウ...