クォーツボート加熱ランプ製造工場

ファブ内では、ウェーハの乾燥やフォトレジストの加熱処理中に発生する熱変動に対して、警告音は鳴りません。その結果として、線幅のばらつきや接着不良、廃棄品が発生します。一方、石英製の加熱ランプは、必要な場所に赤外線エネルギーを届け、迅速に反応し、所定の温度範囲を維持します。 技術的に重要なのは、エネル...