なぜ無駄なエネルギーを使うのか？ウェーハを乾燥させるより良い方法 古い製造ラインで働いたことがある人なら、そのやり方がどんなものかわかるでしょう。巨大なシステムを使ってウェーハに熱風を当て、水が蒸発するのを待つだけです。確かにシンプルな構造ですが、非常に時間がかかります。 問題は、空気は熱を伝える...

スマートファブで適切な温度管理を実現するには スマートファブを構築する際、誰もがデータのことを話します。しかし実際には、加熱方法がそのデータに影響を与えることがあります。従来の加熱方式では、時間的な遅れが生じ、何が起こっているのかを推測するしかありません。 だからこそ、私たちは高効率な赤外線システ...

なぜファブでIR硬化方式を採用するのか？ クリーンルームをアップグレードする際には、大きく分けて2つの課題があります。1つは無駄なエネルギーの消費を止めること、もう1つは有害な排出物を出さないことです。 長年にわたり、私たちは対流式オーブンを利用してきました。しかし、問題点は、大量の空気を加熱する...

なぜ半導体製造工場は、従来のオーブンを捨てて赤外線による硬化処理を採用するのか？ 長い間、半導体製造工場では、大規模な対流式オーブンや多量の有害な化学物質を使って作業を行ってきました。しかし、状況は変わりつつあります。ますます多くの工場が赤外線による硬化処理を採用しています。その理由は何でしょうか...

クラス100のクリーンルームでの汚染の心配はやめましょう。 もしあなたがクラス100（ISO 5）の環境を維持しているのであれば、その苦労はよくご存知でしょう。わずかな金属の破片や、加熱時に発生するガスだけで、作業していた製品が台無しになってしまいます。 ほとんどの一般的な加熱素子は、このような状...

電磁波加熱と熱風加熱：なぜ製造ラインが待ち時間を抱えるのか ほとんどの製造ラインでは、依然として熱風を使った加熱方式が採用されている。これはよく見られる光景です。問題は、その遅さです。空気は非常に悪い熱伝導体です。結果として、時間だけが過ぎていき、チャンバーが設定温度に達するのを待つしかありません...

なぜ無鉛製造工場でIR照射に切り替えるのか ほとんどの半導体製造工場では、もはや古い対流式オーブンや溶剤を多用する乾燥方法を使わなくなっています。そろそろそうすべき時期です。IR照射方式が広く採用されているのは、生産速度を落とすことなく、「環境に優しい」「無鉛」な条件を実現できるからです。 物理的...

世界基準に合致した製品でありながら、高額なコストはかかりません。 私たちが製造するヒーターは、アメリカや日本の一流ブランドにも匹敵する性能を持っています。どうやってでしょうか？それは、厳格な公差管理、実績のある素材の使用、そして実際の製造環境を考慮した設計によるものです。 その結果、高価なブランド...

実際の製造現場においては、焼成の品質は、その過程を制御するヒーターの性能に依存します。わずか0.5度の偏差があっても、重要な寸法が変わってしまい、結果として多くの問題が生じます。当社のセラミック製ランプホルダーは、何サイクル繰り返しても安定した熱特性を保ちます。 内部で重要なのは何か 私たちは高純...

ファブ内では、ウェーハの乾燥やフォトレジストの加熱処理中に発生する熱変動に対して、警告音は鳴りません。その結果として、線幅のばらつきや接着不良、廃棄品が発生します。一方、石英製の加熱ランプは、必要な場所に赤外線エネルギーを届け、迅速に反応し、所定の温度範囲を維持します。 技術的に重要なのは、エネル...

量子レベルにおいては、フォトレジストの焼成条件が半度ほど変動するだけで、何ヶ月もかけて行ってきた製造プロセスの成果が台無しになってしまいます。私たちは、そうした事態を防ぐために特別なヒーターを開発しました。 実際に重要なのは何か 私たちは、クォーツ・ハロゲン素子を用いた短波長赤外線を使用しています...

製造フロアでは、ベイクプロファイルのずれはすぐには目立たない。しかしそれは静かにクリティカルな寸法を削り、フォトレジストを焼き切り、不良品を積み上げる。古いヒーターがウェーハ全体の均一性を保てない場合、応急処置は不要だ。必要なのは、ワイルドカードではなく、実際のプロセスパラメータとして機能する熱制...