電磁波加熱と熱風加熱：なぜ製造ラインが待ち時間を抱えるのか
ほとんどの製造ラインでは、依然として熱風を使った加熱方式が採用されている。これはよく見られる光景です。問題は、その遅さです。空気は非常に悪い熱伝導体です。結果として、時間だけが過ぎていき、チャンバーが設定温度に達するのを待つしかありません。このような起動・停止のプロセスは単に面倒なだけでなく、生産効率を著しく低下させます。
速度の違いは驚異的です。
電磁波加熱では、中間者を排除します。空気を温めてウエハを加熱する代わりに、電磁波を直接対象物に送信します。
高度な処理においては、これは大きな利点です。ほぼ瞬時に加熱が行われ、必要な場所に熱が届き、サイクルタイムも短縮されます。また、大型の装置を配置するためのスペースも不要です。
次に、クォーツ製のシールドについてです。
これらのランプは非常に高温になります。加熱要素が壊れないように、高純度のクォーツガラスで覆っています。
このシールドは2つの役割を果たします。第一に、汚染物質がフィラメントに触れないようにして、ランプが早期に破損するのを防ぎます。第二に、熱を均等に広げるのに役立ちます。
クォーツを使用するのは、高温度に耐えられるからです。特定の電磁波長をそのまま通過させ、エネルギーを吸収しないのです。安価なガラスを使うと、割れたり曇ったりしてしまい、熱の均一性が失われます。
しかし、全てが完璧というわけではありません。
電磁波加熱に切り替えるには、いくつかの問題があります。速度は向上しますが、熱風のような「包み込む効果」は得られません。電磁波加熱では、ライトが直接対象物を照らす必要があります。ライトが対象物を「見えない」と、加熱されません。
そのため、ランプの位置やシールドの角度を慎重に調整する必要があります。少しでも間違えると、冷たい部分ができてしまいます。
また、冷却システムにも注意が必要です。これらのランプは小さな範囲に大量の熱を発生させます。冷却システムが十分でなければ、装置が変形してしまいます。
既存のラインにこれらを導入する前に、熱がどのように逃げていくかをしっかり確認しましょう。そうすれば、後で苦労することがありません。