マイクロ流体デバイス製造用ランプ

リソグラフィーの工程において、わずか0.5℃の温度変動でも、マイクロ流体チャネルの端がナノメートル単位で変位してしまいます。そして、その変位が原因で歩留まりが低下してしまいます。私たちは、このような温度変動を根本的に防ぐために、マイクロ流体デバイス製造用のランプを開発しました。これにより、最初のウ...