省エネ型ウェーハヒーター
スマートファブにおける適切な熱管理の実現方法
もし、インダストリー4.0向けのスマートファブを構築しているのであれば、従来の熱処理の方法ではもはや十分ではないことに気づいているはずです。従来のヒーターは反応が遅く、精度も低いです。また、プロセスのデジタルツインを作成しようとする場合、「大まかに温め...
省エネの空気加熱器
冬の空気には2つの特徴があります。一つは極度に乾燥していること、もう一つは湿気が多いことです。ファン付きのヒーターは部屋を温めてくれますが、同時に皮膚から水分を奪ってしまい、目に刺激を与えたり、木製の家具が乾燥してひび割れたりする原因にもなります。一方、赤外線ヒーターは異なる原理で機能します。空気...