ウェーハ処理装置用温度センサー

ウェーハの加熱を待つのはやめましょう：なぜ赤外線が強制送風より優れているのか 深層加工用のウェーハ加熱装置を選ぶとき、実際にはどのようにしてエネルギーを供給するかを決めているわけです。 ほとんどの人は最初に強制送風方式から始めます。それが標準的な方法です。しかし問題は、空気が単なる仲介者に過ぎない...