半導体製造装置を加熱するためのより良い方法 一部の機器がどうしてこんなに熱くなるのか、気づいたことはありますか？作業している部分だけでなく、装置全体が熱くなってしまいます。 これが、一般的な対流式ヒーターの問題点です。対流式ヒーターは空気を加熱しようとしますが、その結果、装置の壁面も含めてすべての...

なぜファブでIR硬化方式を採用するのか？ クリーンルームをアップグレードする際には、大きく分けて2つの課題があります。1つは無駄なエネルギーの消費を止めること、もう1つは有害な排出物を出さないことです。 長年にわたり、私たちは対流式オーブンを利用してきました。しかし、問題点は、大量の空気を加熱する...

クリーンルーム内のオーブンでの熱の無駄遣いを止めましょう。 半導体ウェーハを加熱する場合、1ワットというエネルギーも重要です。問題は、一般的な赤外線ヒーターは熱が漏れやすいということです。多くのエネルギーがオーブンの壁に逃げてしまい、プロセスには全く役立ちません。 私たちはより良い方法を見つけまし...

スマートファブのトロリーが過熱しないようにする方法 インダストリー4.0向けのスマートファブを構築しているなら、熱管理が以前とは全く異なる課題だと気づいているでしょう。従来の対流式加熱方式では、温度を上げるのに時間がかかりすぎます。また、装置が大きくて使いづらく、クリーンルーム内での使用には不向き...

高温環境下では、わずかな隙も許されません。 例えば、高負荷がかかるクリーンルームで作業を行っているとします。作業は急速に進行し、あらゆるものが活発に動いています。その時に赤外線ランプが故障してしまったらどうでしょう？ それは単なる作業の中断にとどまりません。これは深刻な汚染の危機です。もしランプが...