クリーンルーム内のオーブンでの熱の無駄遣いを止めましょう。
半導体ウェーハを加熱する場合、1ワットというエネルギーも重要です。問題は、一般的な赤外線ヒーターは熱が漏れやすいということです。多くのエネルギーがオーブンの壁に逃げてしまい、プロセスには全く役立ちません。
私たちはより良い方法を見つけました。金メッキされた反射板を使用して、赤外線を効率的にウェーハに届けるのです。
なぜ金なのか？
それは見た目の問題ではありません。光の反射の仕方が重要です。金は、アルミニウムや研磨済みの鋼材よりも、長波長や中波長の赤外線をより効果的に反射します。私たちは反射板に薄い金の層を塗って、本来なら失われてしまう光子を捉えます。
その結果、より均一な熱が得られます。ウェーハはより短時間で所定の温度に到達し、電源の出力を上げる必要もありません。
難しい点
このようにエネルギーを集中させると、非常に高い熱密度になります。これは温度上昇時間を短縮するのには有効ですが、誤差の余地はほとんどありません。もしランプの位置が数ミリ程度ずれているだけでも、過度に熱が集中してしまいます。
だからこそ、PIDコントローラーを正確に調整する必要があります。反射板が過剰に機能すると、ウェーハの端が焼けてしまう可能性があります。私たちは、金の表面の曲率を細かく調整して、熱がウェーハ全体に均等に広がるようにしています。これはバランスを取る作業です。
クリーンルームでの利用
これらのヒーターは実際の環境で使うために設計されています。高温になってもガスが放出されたり、粒子が飛び散ったりしない素材を使用しています。
最も良い点は、金メッキによってエネルギーの効率が大幅に向上するため、低出力のランプを使っても同じ結果が得られることです。これは、施設のHVACシステムにとって大きな利点です。余分な熱が部屋に放出されないからです。ただし、配線をしっかり確認してください。長距離のケーブルを使う場合は、電圧降下が起こらないように注意が必要です。