本当に重要な場所に、より多くの熱を与える ウェーハを加熱する際には、無駄なエネルギーの消費を避けたいものです。簡単に言えば、サブストレートに当たるすべての赤外線エネルギーを有効利用し、機械の筐体や部屋全体が過度に温められることを防ぎたいのです。 多くの人はアルミニウムを使いますが、確かにアルミニウ...

ケース内部での加熱をやめよう：ウェーハを加熱するためのより良い方法 ウェーハを加熱するときは、エネルギーが直接ウェーハに当たることが重要です。機械の壁面にエネルギーが当たってはいけません。 問題は、一般的な赤外線ランプでは、熱が360度全方位に放出されてしまう点です。狭い半導体製造装置内では、これ...

赤外線を使ったMEMSウェーハの乾燥：なぜ従来のオーブンより優れているのか 現代的でスマートな製造工場を構築しようとするなら、古くて遅い対流式オーブンに頼ってはいけません。MEMSセンサーのウェーハを乾燥させるには、短波長の赤外線を利用するのが最適です。重要なのは速度と応答時間です。つまり、生産ラ...

スマートファブにおける適切な熱管理の実現方法 もし、インダストリー4.0向けのスマートファブを構築しているのであれば、従来の熱処理の方法ではもはや十分ではないことに気づいているはずです。従来のヒーターは反応が遅く、精度も低いです。また、プロセスのデジタルツインを作成しようとする場合、「大まかに温め...

ウェーハの加熱を待つのはやめましょう：なぜ赤外線が強制送風より優れているのか 深層加工用のウェーハ加熱装置を選ぶとき、実際にはどのようにしてエネルギーを供給するかを決めているわけです。 ほとんどの人は最初に強制送風方式から始めます。それが標準的な方法です。しかし問題は、空気が単なる仲介者に過ぎない...

精密な赤外線加熱：ウェーハ加工において、焦点を絞った加熱がなぜ重要なのか ウェーハ加工において重要なのは、必要な場所にだけ熱を送り、他の場所には熱が行かないようにすることです。 私たちは、この目的を念頭に置いて赤外線加熱装置を開発しています。従来の広範囲にわたる加熱方式では、まるでガーデンホースを...

ライン上では、時間帯などは全く気にされません。予熱プロファイルにわずかな誤差があるだけで、はんだの欠陥や位置ずれ、フォトレジストの歩留まり低下といった問題が次の工程で発生してしまいます。そのため、ウェーハを適切に予熱するための装置が必要です。つまり、熱的な制約を単なる「便利な要素」ではなく、厳格な...

ファブの現場では、フォトレジストのベイク処理は単なる温めるだけの作業ではありません。それは、ウェーハごとに歩留まりを決定する重要な要素です。ソフトベイクやハードベイク時の温度が1℃変動するだけで、CD値が変わり、スカムが発生したり、粒子数が悪化したりします。私たちは、このような変動をなくすために、...