なぜ無駄なエネルギーを使うのか？ウェーハを乾燥させるより良い方法 古い製造ラインで働いたことがある人なら、そのやり方がどんなものかわかるでしょう。巨大なシステムを使ってウェーハに熱風を当て、水が蒸発するのを待つだけです。確かにシンプルな構造ですが、非常に時間がかかります。 問題は、空気は熱を伝える...

ガラスの破片がウェーハに当たるのを防ぐ：ランプが故障したときにウェーハをきれいに保つ方法 大量生産の半導体製造において、ランプが壊れるのは大変な問題です。停止時間だけでなく、散乱するガラスの破片やハロゲンガスも大きな問題となります。赤外線ランプが壊れると、石英の破片やハロゲンガスがウェーハに直接当...

スマートファブにおける適切な熱管理の実現方法 もし、インダストリー4.0向けのスマートファブを構築しているのであれば、従来の熱処理の方法ではもはや十分ではないことに気づいているはずです。従来のヒーターは反応が遅く、精度も低いです。また、プロセスのデジタルツインを作成しようとする場合、「大まかに温め...

ホットヨガスタジオでは、迅速に高温になり、その温度が一定に保たれる必要があります。もし空気が乾燥したり、暖かさが部屋の中で不均一に分布したりすると、クラス全体の雰囲気が台無しになってしまいます。私たちは、体や表面を直接温める、均一で安定した赤外線を発する省エネ型のヒーターを開発しました。これにより...

冬の空気には2つの特徴があります。一つは極度に乾燥していること、もう一つは湿気が多いことです。ファン付きのヒーターは部屋を温めてくれますが、同時に皮膚から水分を奪ってしまい、目に刺激を与えたり、木製の家具が乾燥してひび割れたりする原因にもなります。一方、赤外線ヒーターは異なる原理で機能します。空気...